具有断电保护作用的碳化硅晶体生长炉.pdfVIP

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2024-02-14 发布于四川
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具有断电保护作用的碳化硅晶体生长炉.pdf

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本发明公开了一种具有断电保护作用的碳化硅晶体生长炉，包括：炉体，炉体限定出炉腔；反应坩埚、升降杆和液压动力单元，反应坩埚设于炉腔内，升降杆与反应坩埚的底部相连，液压动力单元通过升降杆驱动反应坩埚上下移动；驱动单元和隔热组件，隔热组件水平设置于炉体内，以将炉腔分成沿上下方向排布的生长炉膛和保温炉膛，驱动单元设于炉体外且与备用电源相连，驱动单元用于驱动隔热组件打开或关闭保温炉膛。根据本发明的碳化硅晶体生长炉，在遇到突然断电的情况后，反应坩埚会在升降杆的带动下进入保温炉膛内，有利于防止反应坩埚温度下降

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117552109A

(43)申请公布日2024.02.13

(21)申请号202311815449.9

(22)申请日2023.12.26

(71)申请人江苏集芯先进材料有限公司

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