原创力文档- 2
- 0
- 约7.72万字
- 约 74页
- 2024-02-14 发布于四川
- 举报
图案曝光装置具备：照明单元，其对具有以基于描绘数据切换成打开状态或关闭状态的方式被驱动的多个微镜的空间光调制元件照射照明光；以及投影单元，其入射来自所述空间光调制元件的成为打开状态的微镜的反射光来作为成像光束，将与所述描绘数据对应的图案的像投影至基板。图案曝光装置具备：控制单元，其将与根据所述空间光调制元件的打开状态的微镜的分布密度而产生的所述成像光束的角度变化有关的信息与所述描绘数据一并保存为制程信息；以及调节机构，其在基于所述制程信息驱动所述空间光调制元件而在所述基板上曝光图案时，根据与与所
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117561482A
(43)申请公布日2024.02.13
(21)申请号202280045409.8(74)专利代理机构北京市金杜律师事务所
您可能关注的文档
- 自动注射器.pdf
- 显示装置、显示模块、电子设备及显示装置的制造方法.pdf
- 包含消费后再循环树脂和气味活性沸石以减轻味道和气味的组合物.pdf
- 含有恩杂鲁胺的药物植入物及其使用方法.pdf
- 使用互连事件计数器和权重和累加器控制处理器中功耗的系统和方法.pdf
- 像素和包括其的显示装置.pdf
- 杯子保持设备和包括杯子保持设备的服务机器人装置.pdf
- 用于生产硝酸的双压系统及其操作方法.pdf
- 针对条件主辅小区添加或改变的报告.pdf
- 具有行列寻址的超声成像方法及装置.pdf
- 中国国家标准 GB/T 6675.9-2025玩具安全 第9部分：化学及类似活动的实验玩具.pdf
- 《GB/T 6675.9-2025玩具安全 第9部分：化学及类似活动的实验玩具》.pdf
- GB/T 46975-2025婴童用品 便携式婴儿睡篮技术要求.pdf
- 中国国家标准 GB/T 46975-2025婴童用品 便携式婴儿睡篮技术要求.pdf
- 《GB/T 46975-2025婴童用品 便携式婴儿睡篮技术要求》.pdf
- 《GB/T 6675.14-2025玩具安全 第14部分：指画颜料要求和测试方法》.pdf
- GB/T 6675.14-2025玩具安全 第14部分：指画颜料要求和测试方法.pdf
- 中国国家标准 GB/T 6675.14-2025玩具安全 第14部分：指画颜料要求和测试方法.pdf
- 中国国家标准 GB/T 33772.3-2025质量评定体系 第3部分：印制板及层压板最终产品检验及过程监督用抽样方案的选择和使用.pdf
- 《GB/T 33772.3-2025质量评定体系 第3部分：印制板及层压板最终产品检验及过程监督用抽样方案的选择和使用》.pdf
文档评论（0）