原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本实用新型公开了一种用于对镀膜舱室供应特气的供气系统，其包括多个特气柜，每个特气柜均连接至少一个镀膜舱室；特气柜与其所连接的镀膜舱室之间通过供气气路连接，供气气路上设置有流量控制器；每个供气气路与其他特气柜对应的供气气路之间设置有备用管路，备用管路上安装有第一阀门，第一阀门为常闭阀门。本实用新型中，通过在不同的供气气路之间连接带有第一阀门的备用管路，在一个特气柜发生故障时，可将与其供气气路连接的备用管路上的第一阀门打开，如此，备用管路另一端的供气气路供应的气体可以共享至发生故障的特气柜所连接的镀
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220485829U
(45)授权公告日2024.02.13
(21)申请号202321965362.5
(22)申请日2023.07.25
(73)专利权人苏州金沐智能科技有限公司
地址
文档评论（0）