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本实用新型公开了一种定位输送装置,应用于硅片无损切割,包括安装板和输送机构,安装板上设有第一驱动组件,输送机构包括托板组件、主动轮组件、从动轮组件和输送带,主动轮组件和从动轮组件分别设于托板组件的两端,输送带分别与主动轮组件和从动轮组件传动配合,托板组件的内部设有空腔,输送带上设有能够与空腔连通的吸孔,托板组件能够与外部负压设备连接,以使空腔形成负压,第一驱动组件与主动轮组件驱动连接,以驱使输送带运动。使用时,利用空腔的负压,使吸孔将硅片吸附于输送带上,有利于避免在输送中硅片窜动,方便后续的定位
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220491863U
(45)授权公告日2024.02.13
(21)申请号202321970548.X
(22)申请日2023.07.25
(73)专利权人海目星激光智能装备(江苏)有限
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