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2023年多晶硅磁控溅射靶材项目规划设计方案.docx

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    多晶硅磁控溅射靶材项目规划设计方案

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    多晶硅磁控溅射靶材项目规划设计方案

    目录

    TOC\h\z25675前言 3

    18960一、工艺说明 3

    31831(一)、技术管理特点 3

    25519(二)、多晶硅磁控溅射靶材项目工艺技术设计方案 4

    30792(三)、设备选型方案 5

    19209二、多晶硅磁控溅射靶材项目选址可行性分析 7

    4051(一)、多晶硅磁控溅射靶材项目选址 7

    32322(二)、用地控制指标 7

    24770(三)、节约用地措施 9

    17225(四)、总图布置方案 10

    851(五)、选址综合评价

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