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压力与真空度检测工作仪表
压电式
检测及过程控制系统
MeasurementProcesscontrolTechnology
第四章压力与真空度检测
--压电式传感器（4.3）
压力与真空度检测工作仪表压电式
v4.1、概述
v4.2、压电效应分析
v4.3、测量电路
压力与真空度检测工作仪表压电式
4压电式传感器
v4.1.1、作用
v4.1.2、压电效应
v4.1.3、压电式传感器的特点
压力与真空度检测工作仪表压电式
第4.1节概述
4.1.1、作用
压电传感器是力敏感元件，将被测压力、
力、加速度等转换成压电器件的表面电荷量，
以实现非电量的电测目的。它是一种典型的
有源传感器（或称发电型传感器）它是基于
某些材料的压电效应。例如：单晶体，
多晶体的压电陶瓷材料
4.1.2、压电效应
压电效应可分为正压电效应和逆压电效应
两种情形。
压力与真空度检测工作仪表压电式
4.1.2、压电效应
压电效应可分为正压电效应和逆压电效应
两种情形。
1.正压电效应
即晶体（电介质）受到一定方向上的机械外
力时，其内部产生极化现象（类似于铁磁体
的磁化现象），晶体的两个表面上产生符号
相反的电荷（或产生内部电场）。当力消失
后，有重新恢复不带电的状态。
压力与真空度检测工作仪表压电式
4.1.2、压电效应
2.逆压电效应
在晶体（电介质）的极化方向上施加外部
电场，晶体（电介质）产生伸缩机械形变（
或机械应力）。当外电场消失则晶体（电介
质）的机械形变（机械应力）消失。
4.1.3、压电式传感器的特点
基于压电效应的压电传感器具有许多应用特点。
1.响应频带宽，灵敏度高。
压力与真空度检测工作仪表压电式
4.1.3、压电式传感器的特点
1.响应频带宽，灵敏度高。
2.结构简单，工作可靠、质轻。
3.广泛应用于工程力学，生物医学，电声学
等许多技术领域。
压力与真空度检测工作仪表压电式
4.3节压电式传感器
v4.1、概述
v4.2、压电效应分析
v4.3、测量电路
压力与真空度检测工作仪表压电式
第4.2节压电效应分析
v4.2.1、石英晶体压电效应分析
v4.2.2、压电陶瓷材料的压电效应分析
压力与真空度检测工作仪表压电式
第4.2节压电效应分析
4.2.1、石英晶体压电效应分析
石英晶体：又称水晶体（单晶体）。
天然结构的石英晶体呈现一个正六面体的形
状。如图所示：
压力与真空度检测工作仪表压电式
第4.2节压电效应分析
4.2.1、石英晶体压电效应分析
其中，X轴——电轴，经过六面体棱线
Y轴——机械轴，垂直于六面体棱面
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