《含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型 》.docVIP

ICS?FORMTEXT35.240.50

FORMTEXTJ07

中华人民共和国国家标准

GB/TFORMTEXTXXXXX—FORMTEXTXXXX

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FORMTEXT含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型

FORMTEXTInformationmodelforcontainingprocesschamberICEquipmentDesign

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（征求意见稿）

FORMTEXTXXXX-FORMTEXTXX-FORMTEXTXX发布

FORMTEXTXXXX-FORMTEXTXX-FORMTEXTXX实施

GB/TXXXXX—XXXX

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目??次

TOC\o1-3\h\z\u17737前??言 II

186031范围 1

256862定义和术语 1

319263模型体系 2

4413.1IC装备建模仿真设计过程的一般规定 2

206853.2软件平台结构体系 3

146954信息模型 4

280434.1概念模型 4

309734.2要素 5

189414.3关系 6

317864.4信息模型