一种光学元件表面损伤阈值测试系统及其测试方法.pdfVIP

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2024-02-21 发布于四川
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一种光学元件表面损伤阈值测试系统及其测试方法.pdf

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本发明公开了一种光学元件表面损伤阈值测试系统及其测试方法，涉及光学检测领域，包括按光路依次放置的激光器、液晶光阀、光束分束器、透镜一、测试样品、吸收陷阱、直视CCD、反射镜、能量卡计、透镜二和监视CCD，本发明的损伤阈值测试方法为通过建立液晶光阀与光斑近场的映射关系获得传递函数，将光斑中损伤点的坐标带入传递函数确定液晶光阀遮挡区域，当遮挡区域覆盖损伤点后计算局部通量，提高损伤阈值的计算精度。

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN105842248A

(43)申请公布日

2016.08.10

(21)申请号20161