1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

一种压力传感器芯片及其制备方法.pdfVIP

  • 3
  • 0
  • 约1.67万字
  • 约 12页
  • 2024-02-21 发布于四川
  • 举报

一种压力传感器芯片及其制备方法.pdf

    本发明属于传感器技术领域，尤其涉及一种压力传感器芯片及其制备方法，包括：弹性膜；四个压敏电阻，四个所述压敏电阻设置在所述弹性膜上；以及电极，四个所述压敏电阻和所述电极形成惠斯通电桥结构。金刚石具有超宽禁带宽度、超高电子迁移率、高硬度和超高热导率，且具有耐酸碱、耐腐蚀、耐风蚀等极高的化学稳定性和热稳定性，其优异的材料性质使其特别适合用于高温、高压、酸碱环境、风蚀环境等极端环境下的压力探测。因此，本发明设计的一种压力传感器芯片及其制备方法，可以解决压力传感器耐高温、耐高压、耐酸碱风蚀等极端环境的问题

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117571169A

    (43)申请公布日2024.02.20

    (21)申请号202311559609.8

    (22)申请日2023.11.22

    (71)申请人化合积电（厦门）半导体科技有限公

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >