原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明公开了一种基于改进网络的芯片表面缺陷检测方法，改善了现有技术中，芯片表面缺陷检测效率和准确度仍须提高的问题。该发明含有如下具体步骤：步骤S1，对图像采集和预处理；步骤S2，对缺陷区域图像的掩膜处理；步骤S3，对掩膜区域的图像修复；步骤S4，对图像的差分处理；步骤S5，对图像的二值化处理和图像滤波；步骤S6，获取感兴趣缺陷区域；步骤S7，对感兴趣缺陷区域裁剪。本发明能够将芯片表面缺陷检测出来并进行分类与定位，为之后改善芯片的生产工序提供了便利。克服了传统人工检测以及基于人工特征提取方法的缺点
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN113554631A
(43)申请公布日2021.10.26
(21)申请号202110868507.9G06K9/62(2006.01)
文档评论（0）