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特种气体的提纯工艺及提纯装置.pdfVIP

特种气体的提纯工艺及提纯装置.pdf

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    本发明涉及一种特种气体的提纯工艺，包括如下步骤：S1、抽真空并用6N氦气置换整个提纯装置内的空气；S2、抽真空除去杂质组分；S3、原料气不断在分子筛柱与隔膜压缩机之间循环；S4、循环1‑10分钟后，关闭隔膜压缩机，原料气进入加有液氮的冷凝器中；S5、原料气液化、凝固并抽真空精馏至少一次，然后熔化、汽化、收集至收集气瓶；S6、继续S1‑S5直至原料瓶内原料气被完全净化至6N并收集于收集气瓶内。本发明特种气体的提纯工艺及提纯装置使用隔膜压缩机，在短时间内使得气体在分子筛柱内循环多次，之后在冷凝器内还

    (19)中华人民共和国国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN109126358A

    (43)申请公布日

    2019.01.04

    (21)申请号20171

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