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本发明公开的一种力‑磁联合剪切流变抛光方法及装置,属于超精密加工技术领域。本发明的装置包括工作台支撑柱、抛光工作台、力‑磁联合剪切流变抛光工具、磁场调控装置、自适应工件夹具和力‑磁联合剪切流变抛光液循环系统。在力‑磁联合剪切流变抛光驱动装置的驱动下,力‑磁联合剪切流变抛光工具与工件表面形成相对运动产生剪切力,加工区域的力‑磁联合剪切流变抛光液在剪切力作用下产生剪切增稠效应,在加工区域间隙内形成类固态膜包裹在工件表面进行材料去除;磁敏感粒子在磁场调控装置作用下聚拢产生磁诱导增稠效应调节抛光液黏度,
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117564816A
(43)申请公布日2024.02.20
(21)申请号202311481826.XB24B57/00(2006.01)
(22)申请日2023.11.
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