气体质量流量控制器 S600 使用说明书.pdfVIP

气体质量流量控制器（流量计）

S600使用说明书(Ver.1.3)

厚礼博精密仪器（北京）有限公司

CSMS60019

目录

1、概述1

1.1使用范围1

1.2质量流量控制器和质量流量计1

1.3S600质量流量控制器的特点2

2、术语符号3

2.1质量流量3

2.2满量程值3

2.3准确度3

2.4标定条件4

2.5响应时间4

2.6工作压力范围与耐压4

2.7流动方向5

2.8模式切换6

2.9开机设定值6

2.10阀控选择6

2.11自动关闭（SET-CLOSE）7

2.12调零7

2.13报警及状态指示7

3、工作原理9

4、技术指标11

4.1S600MFC技术指标11

4.2命名规则13

4.3订货规范14

5、产品安装15

5.1安装环境15

5.2mm16

外形及安装尺寸（单位）

5.3接口定义20

5.4数字质量流量控制器与计算机的连接25

5.4.1需用设备：25

5.4.2F-NET26

与计算机的连接方法（）

6、使用方法和操作步骤27

6.1电源及信号线连接27

6.2开机操作27

6.2.1预热操作27

6.2.2校零操作28

6.2.3模式切换28

6.3清洗与关闭功能28

6.4阀控功能29

6.5阀电压保持功能29

6.6输出显示29

6.7参数修改30

6.8关机30

7、数字通讯功能使用方法和操作（F-NET）30

7.1测试软件界面30

7.2常用指令操作32

7.2.1MFC的常用指令操作说明。32

7.2.2通信连接34

8、通讯协议编码格式（F-NET）34

8.1串口配置：34

8.2常用命令格式35

8.3错误编码42

8.4单位编码43

8.5通讯帧间隔时间44

8.6校验44

8.6.1校验值计算方法44

8.6.2特殊字符处理45

8.7设备地址45

9、数字通讯功能使用方法和操作（Profibus）46

9.1数据格式46

9.2通信格式47

9.2.1通信地址47

9.2.2通信速率47

9.2.3对MFC进行流量设定（主站--MFC）47

9.2.4MFCMFC--48

读取数据（主站）

9.2.5参数：设定（User_Prm_Data）51

10、警告和注意52

10.1气流方向52

10.2工作介质52

10.3耐压和