- 1、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 5、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
一种半导体器件及其制造方法、电子装置,该方法包括:提供半导体衬底,半导体衬底具有至少一个虚拟器件区和至少一个器件区,虚拟器件区与器件区间隔设置;在虚拟器件区形成至少两个第一浅沟槽,在器件区形成至少两个第二深沟槽,其中,所述第一浅沟槽和所述第二深沟槽的顶部区域呈碗状,第一浅沟槽的宽度大于第二深沟槽的宽度,第一浅沟槽的深度小于第二深沟槽的深度;形成覆盖半导体衬底的栅极介电层,第一浅沟槽和第二深沟槽的底部和侧壁上均形成有栅极介电层;在栅极介电层上形成栅极材料层;回刻蚀栅极材料层,以在第二深沟槽中形成栅
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117594440A
(43)申请公布日2024.02.23
(21)申请号202311410597.2
(22)申请日2023.10.25
(71)申请人绍兴中芯集成电路制造股份有限公
您可能关注的文档
最近下载
- 在线网课学习课堂《现代工科实验室安全(西安电子科大 )》单元测试考核答案.pdf VIP
- 风电齿轮箱换油介绍.pdf VIP
- GB18393-2001 牛羊屠宰产品品质检验规程.pdf VIP
- 识字4《日月山川》课件 2025--2026学年 小学一年级语文上册 统编版.pptx VIP
- 2026年日历表(A4纸一页打印、可编辑).pdf VIP
- 2025年《中国工会章程》知识竞赛测试题及答案.docx VIP
- TC609-5-2025-01 高质量数据集 建设指南.pdf VIP
- DB50T 1709-2024 辣椒机械干制及贮运技术规范.pdf VIP
- J-Flash烧写STM32F103RET6芯片的设置方法与步骤.doc VIP
- 对本项目的合理化建议.docx VIP
文档评论(0)