1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

紫外光辅助与电浆强化二合一的光电辅助制程腔体.pdfVIP

紫外光辅助与电浆强化二合一的光电辅助制程腔体.pdf

    1. 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
    2. 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
    3. 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
    4. 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
    5. 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
    6. 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
    7. 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
    查看更多
    本实用新型是一种紫外光辅助与电浆强化二合一的光电辅助制程腔体，包括有：下腔体，且下腔体的顶部开设腔体开口；顶部盖板，更具有窗口以及多个通气孔；外管体，其底端设置于顶部盖板的上表面并且覆盖于窗口以及所述多个通气孔；顶部盖板封闭腔体开口，以形成反应腔体；内管体，其底端连接于窗口，并且内管体位于外管体中；内管体内形成第一气体腔室；外管体与内管体之间形成第二气体腔室；紫外光源，设置于内管体的顶端，用以对第一气体腔室发射紫外光；感应线圈，环绕于外管体，用以对外管体提供随时间变化的磁通量而产生感应电场；以及

    (19)国家知识产权局

    (12)实用新型专利

    (10)授权公告号CN220520623U

    (45)授权公告日2024.02.23

    (21)申请号202322161375.3

    (22)申请日2023.08.11

    (73)专利权人天虹科技股份有限公司

    地址中

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    知识产权出版社 + 关注
    官方认证
    文档贡献者

    知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来， 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作， 经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

    咨询Ta 进入空间
    版权声明书
    用户编号：5333241143000144
    认证主体北京中献电子技术开发有限公司
    IP属地四川
    统一社会信用代码/组织机构代码
    91110108102011667U

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >