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2024-02-24 发布于四川
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PECVD腔体盖密封检测设备.pdf

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本实用新型公开了PECVD腔体盖密封检测设备，包括支撑架，所述支撑架上连接有抽气组件，所述抽气组件的一端与支撑架相连接；所述支撑架上连接有用于放置腔体盖的放置组件，所述支撑架上设有计时组件；所述支撑架上连接有用于放置计时组件的收纳组件。本装置在使用过程中，能够对PC的腔体盖密封进行检测，不需要将PC的腔体盖进行上机检测，从而不需要繁琐的安装和调试，进一步的减少了工作人员安装和检测流程，PECVD腔体盖密封检测设备能够优化人力资源分配，提前组装备用腔体盖，大大压缩检测时长，间接的提高了检测的效率，

(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN220525226U

(45)授权公告日2024.02.23

(21)申请号202322192222.5

(22)申请日2023.08.15

(73)专利权人北京酷赛斯智能科技有限公司

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