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本发明公开了一种溅射靶材铜板的制备方法，包括以下步骤：将高纯无氧铜铸锭依次进行热轧、温轧，得溅射靶材铜板；所述热轧开轧温度为850～890℃，总变形量为84～87％；所述温轧开轧温度为220～250℃，总变形量为40～48％。本发明的制备方法仅通过热轧和温轧两步工艺，即得到内部组织致密、晶粒均匀、平均晶粒度10～30μm、维氏硬度80～100HV的溅射靶材铜板，操作简便、易于工业化。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117587373A
(43)申请公布日2024.02.23
(21)申请号202311599172.0
(22)申请日2023.11.24
(71)申请人中铜华中铜业有限
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