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一种芯片四面检测方法及装置.pdfVIP

一种芯片四面检测方法及装置.pdf

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    本申请提出了一种芯片四面检测方法，通过计算机获取待检测芯片、入料平台模组、入料arm模组、芯片检测平台、出料arm模组和出料平台模组等坐标信息计算待检测芯片及各模组运动路径并控制各模组运动至对应路径实现待检测芯片4面的检测。采用此种方法通过不同相机模组对来料的芯片4个面进行脏污、划伤、金层剥离、崩边、破损、露头尺寸等自动检测，提升了芯片的良率，降低了人员的工作强度以及工作难度。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117589785A

    (43)申请公布日2024.02.23

    (21)申请号202311417073.6

    (22)申请日2023.10.30

    (71)申请人柯尔微电子装备（厦门）有限公司

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