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2024-02-24 发布于四川
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一种基于石墨烯MOEMS加速度计及其加工方法.pdf

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本发明公开了一种基于石墨烯MOEMS加速度计及其加工方法，MOEMS加速度计基于石墨烯MOEMS加速度计从上到下依次包括器件结构层、氧化物掩埋层和底部基板层；器件结构层包括支撑框架以及置于所述支撑框架中间位置的质量块，所述质量块的左右两侧分别通过悬臂梁弹簧与所述支撑框架连接，所述质量块的纵向方向中部的上端和下端分别向外凸出形成质量块传感区域，所述质量传感区域上以带状阵列周期性铺设石墨烯带构成敏感单元，所述支撑框架的上下两端以所述敏感单元的左右两侧对称设置有光波导，每个光波导上设置有光纤接口。本发

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN115166297A

(43)申请公布日2022.10.11

(21)申请号202210157198.9

(22)申请日2022.02.21

(71)申请人东南大学

地址210096江苏

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