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本实用新型涉及一种夹持组件，包括底座、旋转按压部及弹性件，所述旋转按压部的中间位置枢接于底座的中间位置，所述弹性件分别连接在底座的一端及旋转按压部的一端，且通过弹性件的弹力使得旋转按压部的夹持端抵紧于底座的夹持端，在所述旋转按压部的另一端均匀开设有多组条形豁口一，在所述底座的另一端开设有与条形豁口一相对应设置的条形豁口二。本实用新型的夹持组件通过设置条形豁口一及条形豁口二，使得在具备一定的夹持强度的同时减小对板材件的夹持面积，有利于提升药液喷淋的全面程度，药液可通过两豁口流至板材件上，增加了药液
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220514494U
(45)授权公告日2024.02.23
(21)申请号202321770221.8
(22)申请日2023.07.06
(73)专利权人超捷半导体设备（深圳）有限公司
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