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本发明为一种超浅结硅纳米线矢量水听器及其制备方法，涉及MEMS传感器技术领域。本发明矢量水听器包括SOI基片和微型柱体，SOI基片由四梁结构、中心质量块和SOI基片外边框组成，每根梁的两端都分布有一个超浅结硅纳米线压阻敏感单元，敏感单元之间通过金属引线连接组成惠斯通电桥。本发明是针对现有水听器水声探测灵敏度过低的问题而提出的一种基于巨压阻效应的压阻式MEMS矢量水听器，该矢量水听器通过微型柱体和四梁结构对水声信号进行力矩传递，并通过超浅结硅纳米线压阻敏感单元组成的惠斯通电桥实现高灵敏探测，该矢量
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117589283A
(43)申请公布日2024.02.23
(21)申请号202311650276.XB82Y30/00(2011.01)
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