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一种微电子系统可以包括：微电子元件，具有在其第一表面暴露的导电元件；安装到所述微电子元件的第一表面的插座，并且包括嵌入其中的衬底；一个或多个微电子元件，每个微电子元件具有有源半导体器件并且每一个具有在其正面暴露的元件触点；以及多个插座引脚，其安装到所述衬底并且在所述衬底上方延伸，所述插座引脚是接地屏蔽的同轴插座引脚。所述一个或多个微电子元件可以至少部分地设置在限定在所述插座内的凹槽内。插座具有栅格阵列，所述栅格阵列包括所述多个插座引脚的顶面或安装到所述插座引脚中相应的插座引脚的导电垫，并且所述一
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117594579A
(43)申请公布日2024.02.23
(21)申请号202310060183.5H01L23/00(2006.01)
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