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薄膜体声波谐振器及其制造方法和相关设备.pdfVIP

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  • 2024-02-24 发布于四川
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薄膜体声波谐振器及其制造方法和相关设备.pdf

    本公开涉及薄膜体声波谐振器及其制造方法和相关设备。谐振器包括具有空腔的衬底、设置在衬底上的第一电极层、设置在第一电极层上的压电材料层和设置在压电材料层上的第二电极层。空腔、第一电极层、压电材料层与第二电极层的重叠区域形成有效区域。谐振器包括沿有效区域边界靠近压电材料层上表面设置在压电材料层中的第一空气环槽和沿有效区域边界设置在压电材料层与第二电极层之间的第二空气环槽。第一空气环槽与第二空气环槽相互连通。在非连接边处：第一空气环槽内边界在空腔边界之内并且外边界在空腔边界之外；第二空气环槽内边界和外

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117595818A

    (43)申请公布日2024.02.23

    (21)申请号202310063987.0

    (22)申请日2023.01.12

    (71)申请人北京芯溪半导体科技有限公司

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