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本发明提供一种动态晶圆纠偏方法、装置、设备和介质。该方法包括：S1，初始化机械手的运动参数；S2，驱动器控制机械手沿运动方向平移，以使晶圆触发N个传感器；每个传感器对应晶圆边缘上的至少一组触发信号；根据配置指令，在机械手沿同一运动方向平移的过程中，使每组触发信号均配置不同的信道以传输到驱动器；S3，当晶圆运动到目标位置时或传感器的触发信号超出阈值范围时，驱动器控制机械手暂停运动，更新运动参数；S4，重新执行S2‑S3直至传感器的触发信号满足计算条件；根据触发位置计算晶圆中心位置；根据晶圆中心位置
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117584135A
(43)申请公布日2024.02.23
(21)申请号202311873267.7
(22)申请日2023.12.31
(71)申请人中科芯微智能装备（沈阳）有限公司
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