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本发明的目的在于提供一种能够定位不同尺寸的工件的腔室。本发明的一个方式的腔室(10)是将具有开口(100a)的工件(100)容纳在内部的泄漏测试器用腔室，该泄漏测试器用腔室具备：第一部件(11)，其具有形成工件(100)的容纳空间(S)的凹部(11a)；第二部件(21)，其能够封闭凹部(11a)的开放端部；定位机构(31)，其在容纳空间(S)内以开口(100a)成为规定的位置的方式对工件(100)进行定位；定位机构(31)以与第一部件(11)以及第二部件(21)分离的状态保持工件(100)。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117589382A
(43)申请公布日2024.02.23
(21)申请号202310990571.3
(22)申请日2023.08.08
(30)优先权数据
2022-127228202
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