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一种检测设备以及检焦装置，检测设备包括运动装置、检焦装置和成像装置；运动装置具有移动平台，移动平台用于承载待测件并带动待测件沿预设运动方向进行移动；检焦装置包括检焦模块以及调节模块；检焦模块被配置为向待测件投影检焦图案；调节模块被配置为设定检焦模块产生的检焦图案的投影角度，以使得检焦图案中投影特征的预设延伸方向与移动平台的预设运动方向之间具有倾斜关系；成像装置包括探测器和光学镜组，探测器用于通过光学镜组对待测件进行取像以得到检测图像；检测图像包括投影特征对应的第一成像特征，第一成像特征被用于确定
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220525679U
(45)授权公告日2024.02.23
(21)申请号202321827058.4
(22)申请日2023.07.12
(73)专利权人深圳中科飞测科技股份有限公司
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