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本发明涉及一种球型积分腔结构及离轴积分腔气体测量仪，属于痕量气体探测技术领域。解决无法通过无节制的增加光斑在镜片上的环绕长度来降低干涉噪音的技术问题。该球型积分腔结构，包括：球型内腔镜和包裹在球型内腔镜外围的球型外腔镜；球型外腔镜的内侧表面镀有高反射膜；通过入射位置入射至球型内腔镜中的内圈光束，内圈光束在球型内腔镜内范围往复反射；球型内腔镜与球型外腔镜之间的外圈光束在球型内腔镜与球型外腔镜之间的区域往复反射，每次反射在后腔镜时，有微弱光信号透射出腔。本发明将非出射点处的透射光再一次反射入球型积分
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117589294A
(43)申请公布日2024.02.23
(21)申请号202410078454.4
(22)申请日2024.01.19
(71)申请人中国科学院长春光学精密机械与物
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