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切膜定向限位装置.pdfVIP

切膜定向限位装置.pdf

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    本实用新型公开了一种切膜定向限位装置，包括限位块、导向部和旋转部，对切刀刀路进行调整的限位块设置在外部安装架上，导向部上的导向轮与限位块动态接触，安装切刀的旋转部与导向部活动连接，所述旋转部在电磁铁的作用下绕旋转轴旋转。优点，利用与刀座固定块连接的导向部和与晶圆外廓相同的限位块动态接触，使得安装在刀座固定块上的切刀随着限位块的外廓移动，实现了刀路的动态调整，同时切刀又不与晶圆接触，避免了切刀对晶圆的损坏。

    (19)国家知识产权局

    (12)实用新型专利

    (10)授权公告号CN220517009U

    (45)授权公告日2024.02.23

    (21)申请号202322124667.X

    (22)申请日2023.08.09

    (73)专利权人南京屹立芯创半导体科技有限公

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