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滚刷式晶圆清洗装置.pdfVIP

滚刷式晶圆清洗装置.pdf

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    本发明涉及一种滚刷式晶圆清洗装置，包括驱动部、滚刷和轴承座，滚刷包括刷轴和连接在刷轴上的刷体；滚刷的一端与驱动部连接，另一端通过刷轴与轴承座连接；滚刷在驱动部驱动下旋转；刷轴为两端面封闭的空心轴，空心部形成储液腔，用于储存清洗液；储液腔壁上设有向刷体输送清洗液的通道；刷轴与轴承座壳体不接触；轴承座上设有清洗液供液通道；刷轴与供液通道对应位置的轴壁上设有进液孔；供液通道通过进液孔与刷轴内的储液腔联通；轴承座包括内腔，内腔底部设有排液通道，排液通道用于排出流入轴承座内腔的清洗液。本发明提供的滚刷式晶

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117594485A

    (43)申请公布日2024.02.23

    (21)申请号202311452512.7B08B1/34(2024.01)

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