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光刻机的控制方法、光刻机和计算机可读存储介质.pdfVIP

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  • 2024-02-24 发布于四川
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光刻机的控制方法、光刻机和计算机可读存储介质.pdf

    本发明公开了一种光刻机的控制方法、光刻机和计算机可读存储介质，其中，光刻机的控制方法包括：获取所有对位标记点的标记值；根据所述所有对位标记点的标记值确定所有对位标记点的分布区域；根据所述分布区域进行对位路径优化，以确定目标对位路径；根据所述目标对位路径控制光刻机平台移动至目标标记点。本发明的方法可以减少标记点的对位路径距离，提高了标记点对位的速度，从而提高了光刻机的生产效率。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117590710A

    (43)申请公布日2024.02.23

    (21)申请号202311686461.4

    (22)申请日2023.12.04

    (71)申请人合肥芯碁微电子装备股份有限公司

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