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2023年金刚石膜-声表面波器件（SAW）项目计划设计方案.docx

2023年金刚石膜-声表面波器件（SAW）项目计划设计方案.docx

    金刚石膜-声表面波器件（SAW）项目计划设计方案

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    金刚石膜-声表面波器件（SAW）项目计划设计方案

    目录

    TOC\h\z17435前言 3

    31734一、工艺说明 3

    7718(一)、技术管理特点 3

    21823(二)、金刚石膜-声表面波器件（SAW）项目工艺技术设计方案 4

    9766(三)、设备选型方案 6

    9034二、金刚石膜-声表面波器件（SAW）项目选址可行性分析 7

    9471(一)、金刚石膜-声表面波器件（SAW）项目选址 7

    6767(二)、用地控制指标 7

    22695(三)、节约用地措施 10

    2249

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