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MarSurf
MarSurfLD130Aspheric/LD260Aspheric
高精度光学元件2D/3D测量站
一站式测量与评价
•测量范围达到400mm
•测量速度极快
•集成芯片的仿生学测臂
•测针更换无须校准
•非连续性轮廓
-
2MarSurfLD130/LD260
MarSurfLD130非球面/LD260非球面
非球面定义描述
一个非球面表面是从一个球面偏离出来的折射或反射面.现在越来越多的光学系统都要求一个紧凑的系统设计,例如：
变焦镜头,DVD光头以及手机照相机镜头等.为了达到这个目
对于一个基于锥体的非球面表面中,矢量Z（对应横向坐标上的,在传统球面镜头的基础上,光学行业正在向生产非球面镜头
的垂直坐标）的数学描述可以是以下等式
转变.
在Mahr的轮廓测量单元中,评价程序可以分析非球面表面形貌,
h2实际测得的数据将在软件中与已经定义好的名义数据进行比较
R5
()02n与计算,进而得到我们所需要的差值结果.
zh=2+∑A2n⋅h
hn=2
()
1+1−1+kR误差结果可以各种机器可读的格式进行输出,方便生产设备进行
0
工艺调整（闭环控制.
R=基圆半径
o
h=非球面径向半径
相比较激光干涉仪而言，测针式的测量可以将2D和3D的测量
k=圆锥常数
Ai=非球面系数都应用在较粗糙的光学表面上，这样就可以在生产的初期实现
测量与补正(研磨).
MarSurfLD130非球面/LD260非球面定义-2D-测量
测量
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