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- 2024-02-28 发布于四川
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本发明公开了一种基于人工智能的调控预警系统及方法，属于半导体调控领域，该调控预警系统包括数据采集模块、智能管理模块、天车分析模块和天车调控模块，数据采集模块用于对运输晶圆的天车运行数据和过渡区数据进行采集，智能管理模块用于对采集的数据和分析结果进行安全存储和调整，天车分析模块用于对目标天车进行筛选，对天车运输分配方案进行分析，天车调控模块用于根据分析结果，对目标天车的运输情况进行智能调控。本发明根据采集的数据，对目标天车及对应的目标过渡区进行筛选，选择最佳分配方案，对目标天车进行调控，当出现异常
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117610821A
(43)申请公布日2024.02.27
(21)申请号202311468859.0
(22)申请日2023.11.07
(71)申请人无锡迪渊特科技有限公司
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