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本发明涉及一种高热效率气体传感器悬梁结构制备方法及系统,系统包括悬梁结构,尤其适用于高热效率的传感器,悬梁结构包括:用于提供支撑的非感测区域和用于支撑感测区域的若干个悬梁,感测区域能够借助悬梁与非感测区域连接,确定形状的悬梁被确定排布方向以在感测区域和非感测区域间形成绝热区域并由此定义被配置用于绝热的绝热区域的形貌特征;制造方法包括以下步骤:形成基片,基片配置有用于检测气体的感测层、用于检测感测层变化的检测电极、用于加热的加热电极以及用于支承的绝缘层;在基片上形成多个绝热区域进而定义在非感测区域
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117607218A
(43)申请公布日2024.02.27
(21)申请号202311570580.3
(22)申请日2023.11.22
(66)本国优先权数据
202310158176.9
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