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一种等离子体辅助感应加热法制备石墨烯的装置.pdfVIP

一种等离子体辅助感应加热法制备石墨烯的装置.pdf

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    本申请涉及一种等离子体辅助感应加热法制备石墨烯的装置，应用在石墨烯制备的领域。其包括沉积腔、真空发生机构、加热机构、等离子体发生机构和工件夹持机构，真空发生机构与沉积腔连通，工件夹持机构设于沉积腔的内壁用于夹持工件，加热机构设于沉积腔的内壁用于加热工件，等离子发生机构与沉积腔连通；真空发生机构的抽气口与沉积腔通过管道连通，沉积腔上设有第一出气通道和第二出气通道，第一出气通道与第二出气通道与管道连通，管道上设有调节阀，调节阀调节第一出气通道与第二出气通道的开度，第一出气通道的开度减少时第二出气通道

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117604487A

    (43)申请公布日2024.02.27

    (21)申请号202311680676.5C23C16/458(2006.01)

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