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图案曝光装置、器件制造方法及曝光装置.pdfVIP

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  • 2024-02-28 发布于四川
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图案曝光装置、器件制造方法及曝光装置.pdf

    图案曝光装置(EX)包括：空间光调制元件(10)，其具有基于描绘数据被选择性驱动的多个微镜；照明单元(ILU)，其以规定的入射角向空间光调制元件照射照明光；以及投影单元(PLU)，其使来自空间光调制元件的被选择的打开状态的微镜的反射光入射并投影到基板上，图案曝光装置(EX)将与描绘数据对应的图案投影曝光到基板上，照明单元包括：聚光光学构件，其将来自成为照明光的光源的规定形状的面光源的光聚光并倾斜照射到空间光调制元件上，且沿着相对于投影单元的光轴以入射角倾斜的光轴来配置，使面光源与投影单元的光瞳光

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117616338A

    (43)申请公布日2024.02.27

    (21)申请号202280045554.6(74)专利代理机构北京市金杜律师事务所

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