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本发明提供了一种晶棒承载装置以及包含该晶棒承载装置的立式激光干涉检测设备。本发明的晶棒承载装置包括：支撑座；可转动地安装在支撑座上的旋转盘；以及安装在旋转盘上的晶棒承托台、晶棒夹持部和反光镜安装座，旋转盘含有上旋转盘和下旋转盘，上旋转盘设有承托台安装槽和光路通孔，晶棒承托台的下端安装在承托台安装槽内，晶棒夹持部含有夹持安装座、固定臂、活动臂、夹爪以及弹性压紧件，固定臂活动安装在夹持安装座上，夹爪位于光路通孔的正上方并且活动安装在固定臂的一端，活动臂的一端与固定臂的另一端可转动地连接，弹性压紧件安
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN110044298A
(43)申请公布日
2019.07.23
(21)申请号20191
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