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本发明涉及一种基于微波的六氟化硫降解装置、处理方法及控制系统，混合好的待降解气体进入降解室，降解室内微波等离子体发生器喷头喷射出等离子体，待降解气体经过等离子体区域，对气室内的待降解气体进行降解。本发明借助微波降解装置，实现六氟化硫的高效降解，借助吸收室和吸附室，将降解产生的含硫、含氮废气通过吸收室内的碱洗液全部吸收，避免产生的废气危害环境，通过吸附室内的分子筛进一步吸附未降解完全的六氟化硫，避免六氟化硫外排的风险，消除了六氟化硫及其含硫、含氮废气对环境的危害。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117599563A
(43)申请公布日2024.02.27
(21)申请号202311469505.8B01D53/02(2006.01)
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