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2024-02-28 发布于四川
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一种原子层沉积设备.pdf

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本发明公开了一种原子层沉积设备，涉及原子层沉积技术领域，包括外壳，外壳的顶部安装设置有顶盖，外壳的一侧装配设置有料口；承放台的顶部通过连接柱固定连接有密封板，外壳内位于反应组件的上方设置有与承放台滑动贴合的封堵机构，封堵机构的顶部转动设置有辅助机构，密封板和辅助机构之间设置有传动机构；使用时，当完成膜沉积进行出料时封堵机构会与承放台的外壁贴合，从而在反应腔和料口之间形成阻隔以减少热量流失，当进行沉积工作时，通过密封盖使得传动机构进行蓄力，随后在密封盖与限位杆配合并解除弧形板的限位时，传动机构驱动

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117604505A

(43)申请公布日2024.02.27

(21)申请号202410094575.8

(22)申请日2024.01.24

(71)申请人江苏迈纳德微纳技术有限公司

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