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本发明涉及半导体定位领域,特别是涉及一种半导体图像对准方法、装置及设备,通过获取待匹配图像;对所述待匹配图像进行主模型图像匹配,得到主模型图像初步位置;根据所述主模型初步位置及预设的主次位置关系信息,确定次模型图像对应的存在区域;对所述存在区域进行次模型图像匹配,得到次模型图像位置;根据所述次模型图像位置及所述主次位置关系信息,确定主模型图像反推位置;根据所述主模型图像初步位置及所述主模型图像反推位置,确定主模型图像最终位置。本发明避免了由于环境因素导致的主模型图像被干扰,遍历图像却始终不能匹配
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117611851A
(43)申请公布日2024.02.27
(21)申请号202311616382.6
(22)申请日2023.11.29
(71)申请人光力瑞弘电子科技有限公司
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