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本发明公开了一种MEMS传感器、双电极力敏谐振元件及其制造方法。在本发明的技术方案中，在衬底上开设空腔，并将压电层图形化形成沿第一方向间隔设置的第一锚点和第二锚点，以及连接在所述第一锚点和所述第二锚点之间的两个振梁，本申请通过设置两个间隔设置的振梁，两个振梁在振动时会有时间差，因此其产生的电信号也存在时间差，相比于单根振梁，两个交替产生的电信号之间的时间间隔更短，因此提高了电信号的输出频率，同时使第二锚点和两个振梁悬空设置，使得压电层对于环境的变化感知更加灵敏，同时通过在压电层的上下两端设置两个
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117602577A
(43)申请公布日2024.02.27
(21)申请号202311621778.XG01L1/16(2006.01)
(22)申请日2023.11.2
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