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2024-02-28 发布于四川
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本申请提出了一种真空泵组及泵送系统，该真空泵组包括主泵和前级泵；主泵输出口与前级泵吸入口上下对齐设置；主泵包括转子轴、泵体、两个轴承板和两个油箱；两个轴承板沿转子轴轴向分别设置于泵体的轴向两端；两个轴承板的轴向外侧分别固定连接有一油箱；油箱材质的密度小于泵体材质的密度；轴承板包括具有轴孔的轴承凸台和环绕轴承凸台的固定座，在沿转子轴轴向方向上固定座的宽度小于轴承凸台的宽度。通过采用轻质油箱以及减小轴承板中固定座的宽度，对主泵进行轻量化改进设计，以降低真空泵组中位于上层的主泵的重量，从而在主泵输出口

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117605688A

(43)申请公布日2024.02.27

(21)申请号202311815073.1

(22)申请日2023.12.27

(71)申请人上海盛剑半导体科技有限公司

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