弹性波装置.pdfVIP

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  • 2024-02-28 发布于四川
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本发明提供一种能够改善温度特性的弹性波装置。弹性波装置(1)具备:压电体层(3);以及IDT电极(4),设置在压电体层(3)上,具有周期性地配置的多个电极指(多个第1电极指(8)、第2电极指(9))。电极指包含至少一层电极层,至少一层电极层包含Nb、Pd以及Ni中的至少任一种。基于电极层与Mo的密度比而换算为电极层由Mo构成的情况的电极层的厚度的总和相对于多个电极指的周期为10%以上。

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117616690A

(43)申请公布日2024.02.27

(21)申请号202280045592.1(74)专利代理机构中科专利商标代理有限责任

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