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一种可分区控制的半导体制冷片及静电卡盘.pdfVIP

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  • 2024-02-29 发布于四川
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一种可分区控制的半导体制冷片及静电卡盘.pdf

    本实用新型公开了一种可分区控制的半导体制冷片及静电卡盘，涉及半导体制冷技术领域，其中，可分区控制的半导体制冷片包括相对设置的上基板和下基板，上基板和下基板之间设有多个间隔的温控区，各温控区内设有若干PN晶粒，同一温控区内的所有PN晶粒通过设于对应PN晶粒两端的若干导电板串联，不同温控区内的PN晶粒分别电控，使同一温控区内的所有PN晶粒接收的电流强度相同，不同温控区内的PN晶粒可接收不同强度的电流，进而使上基板和下基板表面对应同一温控区的区域温度相同，上基板和下基板表面对应不同温控区的区域温度可不

    (19)国家知识产权局

    (12)实用新型专利

    (10)授权公告号CN220545420U

    (45)授权公告日2024.02.27

    (21)申请号202322068343.9

    (22)申请日2023.08.02

    (73)专利权人无锡宜恰高技术有限公司

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