扫描电子显微镜原理及发展综述.docVIP

课程报告

题目：扫描电子显微镜原理及开展综述

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摘要

扫描电子显微镜作为一种有效的显微结构分析仪器，可以对各种材料进行多种形式的外表的观察与分析。它具有分辨率高、景深长、成像富有立体感等优点。利用扫描电镜的图像研究法分析显微结构，其内容丰富、方法直观。随着现代生活对新型材料的需求不断增长，扫描电子显微镜技术在新型材料学科领域中的应用也日益广泛。本文主要介绍扫描电子显微镜的工作原理、结构特点以及开展应用情况，并对当前扫描电镜开展方向进行总结与评析。

关键字：扫描电子显微镜，工作原理，SEM结构组成，应用,开展方向

目录

TOC\o1-3\h\u10872第一章前言 1

5191.1显微镜的分类 1

148551.2扫描电子显微镜的性能及根本分析技术 1

10926第二章描电子显微镜原理 3

206582.1电子与物质的相互作用 3

289092.2扫描电子显微镜的工作原理及仪器结构[1][2] 3

109692.2.1整体工作原理图 4

309532.2.2电子光学系统