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一种电子束曝光机内束流检测系统.pdfVIP

一种电子束曝光机内束流检测系统.pdf

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    本发明公开了一种电子束曝光机内束流检测系统，包括图形发生器、电流/电压转换电路、伺服电机、载片台和法拉第杯；法拉第杯固定在载片台上；图形发生器通过伺服电机与载片台相连；电流/电压转换电路分别与法拉第杯和图形发生器相连；电流/电压转换电路包括电阻模块、高速模拟开关模块、飞安级偏置电流运放模块和放大模块；电阻模块和飞安级偏置电流运放模块的输入端均与法拉第杯相连；电阻模块的输出端经高速模拟开关与放大电路的输入端相连；飞安级偏置电流运放模块的输出端与放大电路的输入端相连；放大电路的输出端与图形发生器的输

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117631473A

    (43)申请公布日2024.03.01

    (21)申请号202311606237.X

    (22)申请日2023.11.28

    (71)申请人中国电子科技集团公司第四十八研

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