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用于涂层炉靶材保护的可拆卸式门板结构.pdfVIP

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  • 2024-03-02 发布于四川
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用于涂层炉靶材保护的可拆卸式门板结构.pdf

    本实用新型公开了用于涂层炉靶材保护的可拆卸式门板结构，包括涂层炉、转架、靶材发生器和靶材遮挡机构，涂层炉内中心设有转架，涂层炉内壁上设有多组靶材发生器，每一组靶材发生器包括沿竖直方向设置的多个靶材发生器，每组靶材发生器的内侧设有一套靶材遮挡机构，靶材遮挡机构能自由转动挡住一组靶材发生器；靶材遮挡机构包括对称设置的两个遮挡门扇，两个遮挡门扇能同时相对转动至或反向转动，两个遮挡门扇相对转动至外侧边抵接时，将靶材发生器完全遮挡，遮挡门扇包括转轴和门板，转轴上设有卡扣，门板通过卡扣与转轴可拆卸连接；本结

    (19)国家知识产权局

    (12)实用新型专利

    (10)授权公告号CN220550217U

    (45)授权公告日2024.03.01

    (21)申请号202322044573.1

    (22)申请日2023.08.01

    (73)专利权人苏州吉恒纳米科技有限公司

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