原创力文档- 4
- 0
- 约1.27万字
- 约 13页
- 2024-03-02 发布于四川
- 举报
本发明涉及微机电系统技术领域，具体涉及一种压电静电混合驱动的MEMS微镜；包括压电结构部和静电结构部，压电结构部与静电结构部堆叠；静电结构部包括可动结构、固定结构和第二金属结构层，压电结构部包括压电材料层、金属反射层、可动镜面、第一支承结构、扭转轴、第二支承结构、压阻传感结构、第一金属结构层和运动框架，通过混合了压电驱动和静电驱动两种驱动方式，以压电驱动为主，提供微镜工作所需的主要驱动力，为压阻反馈的集成提供基础，避免因高压导致压电材料击穿损伤，实现了采用压电驱动和静电驱动两种驱动方式，能够简单
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117631261A
(43)申请公布日2024.03.01
(21)申请号202311797969.1
(22)申请日2023.12.26
(71)申请人觉芯电子（无锡）有限公司
地址
文档评论（0）