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一种红外探测器的制备方法、红外探测器.pdf

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一种红外探测器的制备方法、红外探测器,该制备方法包括:在衬底上依次生长缓冲层、N型掺杂接触层、吸收层、P型掺杂接触层和P型盖层,得到第一器件;对第一器件的叠层结构的两端进行刻蚀以在刻蚀后的N型掺杂接触层上形成沿第一方向突出的台面结构,得到第二器件;在第二器件远离衬底的表面制备电极窗口掩膜,得到第三器件;在第三器件远离衬底的表面沉积增透钝化层;去除第一电极窗口掩膜以及第一电极窗口掩膜上的增透钝化层,得到第一电极窗口,去除第二电极窗口掩膜以及第二电极窗口掩膜上的增透钝化层,得到第二电极窗口;在第一电

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117637908A

(43)申请公布日2024.03.01

(21)申请号202311528094.5H01L31/0232(2014.01)

(22)申请日2023.1

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