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静电卡盘.pdfVIP

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  • 2024-03-02 发布于四川
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静电卡盘.pdf

    静电卡盘具备卡盘构件、基座构件以及接合材料。接合材料位于卡盘构件与基座构件之问。接合材料含有聚酰亚胺。接合材料在从卡盘构件以及基座构件分离的中间部分具有空隙。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117642849A

    (43)申请公布日2024.03.01

    (21)申请号202280049289.9(74)专利代理机构中科专利商标代理有限责任

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